- Plasmaätzen
- nплазменное травление
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.
Plasmaätzen — ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleiter , Mikrosystem und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff … Deutsch Wikipedia
Plasmaätzen — Plạsma|ätzen, Abkürzung PE [zu englisch plasma etching], Halbleitertechnik: ein Trockenätzverfahren für die Strukturübertragung auf Halbleiterbauelemente, bei dem ein »Parallelplattenreaktor« als Rezipient verwendet wird. Die Elektroden, die… … Universal-Lexikon
Plasmaätzen im Trommelreaktor — plazminis ėsdinimas cilindriniame reaktoriuje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. barrel reactor plasma etching vok. Plasmaätzen im Trommelreaktor, n rus. плазменное травление в цилиндрическом реакторе, n pranc. décapage par… … Radioelektronikos terminų žodynas
radikales Plasmaätzen — radikalinis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radical plasma etching vok. radikales Plasmaätzen, n rus. радикальное плазмохимическое травление, n pranc. décapage radicalaire par plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
Plasma-Ätzen — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… … Deutsch Wikipedia
RIE-Prozess — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… … Deutsch Wikipedia
Plasma-Physik — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
Plasmagas — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
Plasmaphysik — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
Plasmastrahl — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
Plasmazustand — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia